真空固化爐是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設備，烘箱溫度最高可達450°c 固化爐的工作原理和操作流程：
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源，利用風機對加熱總成對流換氣的方式加熱空氣，通過熱空氣與物料的熱量傳遞，空氣通過進風口不斷補充，濕空氣排出箱外，使爐內(nèi)的溫度不斷提高，模具逐漸預熱。 操作程序。
2、固化爐開機前準備
①崗位操作人員開機前首先必須熟悉本機的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識。
②檢查設備的狀態(tài)標志及衛(wèi)生清潔狀況。
③檢查電器系統(tǒng)是否完好，電動機是有無受潮漏電。
3、固化爐操作過程
①首先將臺車及爐內(nèi)部清洗干凈。
②打開供電設備電源開關(guān)、打開設備“電源開關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
③打開爐門，將模具及物料放上臺車推入烘爐內(nèi)，關(guān)閉爐門。
④設定烘爐溫度，并打開烘爐“風機”及“升溫”按鈕。
⑤達到固化時間打開爐門，將臺車推出爐門，取出固化后的物料。
⑥當工作結(jié)束時，分別關(guān)閉“升溫”和“風機”按鈕，使加熱系統(tǒng)、鼓風系統(tǒng)停止工作。
⑦最后關(guān)閉“電源開關(guān)”旋鈕，合上總閘，打開爐門，取出已烘干的物料，工作程序結(jié)束。
4、固化爐操作注意事項
①烘爐安裝場地應平整、光滑。
②電器控制人員有專業(yè)的管理和維修;當爐箱不用時，應切斷電源，確保安全。
③切勿將易燃易爆物品放入烘爐內(nèi)，以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程，希望以上知識對您有所幫助！
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